Open AccessCOMPARATIVE CHARACTERISTICS FOR RF-MEMS SWITCHES
Author(s) -
N. V. Konukhov
Publication year - 2021
Publication title -
rossiâ molodaâ: peredovye tehnologii - v promyšlennostʹ
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
ISSN - 2310-4597
DOI - 10.25206/2310-4597-2021-1-18-22
Subject(s) - microelectromechanical systems , materials science , computer science , electronic engineering , engineering , optoelectronics
В статье проведено сравнение характеристик ВЧ-МЭМС переключателей и переключателей на PIN-диодах и полевых транзисторах. Показаны основные конструктивные особенности и принципы работы ВЧ-МЭМС переключателей. Приведены требования к материалам контактной группы, а так же характеристики основных материалов, применяемых в ВЧ-МЭМС переключателях. Выполнен анализ используемых материалов для структурных и жертвенных слоев ВЧ-МЭМС переключателей. Представлены их комбинации и рекомендуемые для данных комбинаций травители для материала жертвенных слоев.