Open Accessپایداری عملکرد، بازده پینچ و ضریب سرعت در دستگاه پلاسمای مینیاتوری J 3 با هندسههای مختلف الکترودها
Author(s) -
مرتضی حبیبی,
حسین جعفری
Publication year - 2019
Publication title -
majallah-i ̒ulūm va funūn-i hastah/ī
Language(s) - Persian
Resource type - Journals
eISSN - 2676-5861
pISSN - 1735-1871
DOI - 10.24200/nst.2019.1022
Subject(s) - torr , materials science , physics , thermodynamics