Open AccessAnalisa Desain dan Perancangan Ruang Vakum Medium Sebagai Media Pembangkitan Plasma Oksigen Menggunakan Gelombang Mikro 2,45 GHZ
Author(s) -
Antonius Prisma Jalu Permana,
Danang Murdiyanto,
Bernardus Crisanto Putra Mbulu
Publication year - 2020
Publication title -
praxis
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
ISSN - 2622-9137
DOI - 10.24167/praxis.v2i2.2532
Subject(s) - plasma , ionization , ashing , atomic physics , microwave , divertor , ion , materials science , ion source , physics , tokamak , nuclear physics , quantum mechanics