Open AccessCONSTRUCCIÓN DE UN MICROSCOPIO PERFILOMETRICO POR INTERFEROMETRÍA DE LUZ BLANCA
Author(s) -
Juan A. Sanchez Daza,
Martha Lucía Molina Prado,
Néstor Alónso Arias Hernández
Publication year - 2020
Publication title -
revista colombiana de tecnologías de avanzada/revista colombiana de tecnologias de avanzada/politizen
Language(s) - Spanish
Resource type - Journals
eISSN - 2500-8617
pISSN - 1692-7257
DOI - 10.24054/16927257.v36.n36.2020.12
Subject(s) - humanities , physics , philosophy
En este trabajo se presenta el diseño y construcción de un microscopio perfilométrico por interferometría de luz blanca, que permite el levantamiento topográfico de objetos con resolución nanométrica. Por medio de un escaneo axial del objeto, se adquiere un conjunto de imágenes con franjas interferométricas deformadas las cuales dan información de la rugosidad del objeto. El principio del sistema está basado en la localización del pico de coherencia en cada posición Im(i,j) del conjunto de m imágenes adquiridas, en donde la posición z(m) del pico de coherencia cambia de acuerdo a la topografía del objeto. Se presenta una serie de reconstrucciones tridimensionales de varios objetos a resolución nanométrica, obtenidas de manera automática con la ayuda de una interface gráfica elaborada en Matlab, que permite el control de los dispositivos, procesado digital de las imágenes y el cálculo de la topografía del objeto.