ПОКРАЩЕННЯ ЯКОСТІ ОПТИЧНИХ ПОВЕРХОНЬ ЕЛЕМЕНТНОЇ БАЗИ ІНФОРМАЦІЙНИХ СИСТЕМ МЕТОДОМ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ МІКРООБРОБКИ

В роботі наведено результати електронно-променевої мікрообробки оптичних поверхонь елементної бази інформаційних систем, що доводять покращення їх якісних характеристик (зменшення мікрошорсткості та мікронапруження у поверхневому шарі матеріалу, структурної та хімічної стабілізації у дефектному і тріщиноподібному шарах, керована зміна адгезійними властивостями поверхні матеріалу тощо). Розглянуто структурні та хімічні перетворення, які виникають на поверхні та у приповерхневому шарі оптичного матеріалу внаслідоктакої мікрообробки. Встановлено технологічні режими електронно-променевої мікрообробки оптичного скла, при яких відбувається якісне покращення поверхонь оптичних елементів, що приводить до підвищення експлуатаційних показників та показників надійності цих елементів. Показано перспективу використання методу електронно-променевої мікрообробки оптичних елементів при виготовленні, удосконаленні та оновленні елементної бази сучасних інформаційних систем.