Open AccessГеометрическая форма областей разрушения в ходе скользящей наноиндентации тонких пленок Si-C-N, применяемых для Н/МЭМС
Author(s) -
Ritambhara Dash,
A. S. Bhattacharyya
Publication year - 2022
Publication title -
pisʹma v žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7471
pISSN - 0320-0116
DOI - 10.21883/pjtf.2022.15.53122.19132
Subject(s) - adhesive , materials science , adhesion , indentation , composite material , substrate (aquarium) , adhesive wear , stress (linguistics) , wear resistance , geology , layer (electronics) , linguistics , oceanography , philosophy