Холловский микроскоп для измерения магнитных свойств пленок

Описан магнитный измерительный микроскоп, обладающий пространственным разрешением определения координат токовых диполей 3 mum. В качестве первичного преобразователя используется пленочный датчик Холла с габаритами чувствительной зоны 250x 400 mum, размещенный на расстоянии 3 mm от плоскости сканирования. Сверхразрешение по сравнению с размерами датчика и расстоянием до объекта достигнуто путем использования априорной информации об объекте сканирования. Предложен способ калибровки магнитного микроскопа и измерения его метрологических характеристик. Сравнением случайной погрешности измерения координат токового диполя с пределом Рао-Крамера показана эффективность и состоятельность полученной оценки координат. Измерительный микроскоп может применяться при исследовании элементов функциональной электроники. DOI: 10.21883/PJTF.2017.15.44864.16434