Open AccessСоздание дифракционной решетки на алмазной подложке имплантацией ионами бора
Author(s) -
А.Л. Степанов,
В.И. Нуждин,
М.Ф. Галяутдинов,
Н.В. Курбатова,
В.Ф. Валеев,
В.В. Воробьев,
Ю. Н. Осин
Publication year - 2017
Publication title -
pisʹma v žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7471
pISSN - 0320-0116
DOI - 10.21883/pjtf.2017.02.44185.16385
Subject(s) - psychology
Настоящее исследование относится к способам изготовления дифракционных оптических элементов (дифракционных решеток). Дифракционная решетка была получена на основе алмаза при его имплантации ионами бора через маску. В процессе имплантации в немаскированных областях облучаемого алмаза произошла графитизация алмаза, приведшая к распуханию облученного слоя. Формирование периодических поверхностных графитизированных микроструктур на поверхности алмаза контролировалось методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Эффективность функционирования дифракционного оптического алмазного элемента показана путем его зондирования излучением гелий-неонового лазера. DOI: 10.21883/PJTF.2017.02.44185.16385