Эволюция морфологии и структуры с ростом толщины конденсированных пленок Pd-Cu на поверхности с открытой пористостью

Методами растровой электронной микроскопии высокого разрешения, реализуемой на базе установки Helios 600i (FEI, США), исследованы поперечные срезы, выполненные методом сфокусированного ионного пучка, и изломы нанокомпозита PdCu/Al 2 O 3 , синтезированного методом магнетронного распыления (МР) сплавной мишени PdCu и конденсации в вакууме на поверхность нанопористого Al 2 O 3 , полученного анодным оксидированием алюминиевой фольги. Выявлены закономерности формирования структуры и морфологии кристаллитов вакуумного конденсата твердого раствора Pd-Cu толщиной от 0.1 до 4 mum на поверхности с открытой пористостью. Обсуждены подходы к формированию градиентных структур у свободной поверхности, обнаружены условия инициации МР механизмов формирования дискретных, пористых и анизотропных конденсатов. Реализован подход неселективного заполнения нанопор в диэлектрике металлическими кластерами и формирования градиентной структуры нанокомпозита PdCu/Al 2 O 3 .