Open AccessОптические свойства сегнетоэлектрических пленок Hf-=SUB=-x-=/SUB=-Zr-=SUB=-y-=/SUB=-O-=SUB=-2-=/SUB=- и La : Hf-=SUB=-x-=/SUB=-Zr-=SUB=-y-=/SUB=-O-=SUB=-2-=/SUB=- по данным эллипсометрии
Author(s) -
В.Н. Кручинин,
Е.В. Спесивцев,
С.В. Рыхлицкий,
В.А. Гриценко,
Furqan Mehmood,
Thomas Mikolajick,
Uwe Schroeder
Publication year - 2022
Publication title -
optika i spektroskopiâ
Language(s) - Spanish
Resource type - Journals
eISSN - 2782-6694
pISSN - 0030-4034
DOI - 10.21883/os.2022.03.52163.2477-21
Subject(s) - zirconium , materials science , hafnium , crystallography , analytical chemistry (journal) , chemistry , metallurgy , chromatography
В последнее время обнаружено наличие сегнетоэлектрических свойств наноразмерных пленок на основе оксида гафния. Такие пленки представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, которая сочетает преимущества оперативной и флэш-памяти. В работе изучаются оптические свойства пленок оксида гафния-циркония Hf x Zr y O 2 и пленок оксида гафния-циркония, легированных лантаном, La : Hf x Zr y O 2 . Флуктуации толщины пленок Hf x Zr y O 2 не превышают 3.5%, флуктуации толщины пленок La : Hf x Zr y O 2 --- 3.2%. Оптические свойства анализируются на основе теории эффективной среды. По данным теории эффективной среды пленки Hf x Zr y O 2 содержат 46% HfO 2 , 54% ZrO 2 , пленки La : Hf x Zr y O 2 содержат 47.5% HfO 2 , 52.4% ZrO 2 , 2.5% La 2 O 3 . Ключевые слова: сегнетоэлектрик, показатель преломления, спектроэллипсометрия, теория эффективной среды.