Open AccessОптические свойства нестехиометрического оксида тантала TaO-=SUB=-x-=/SUB=- (x < 5/2) по данным спектроэллипсометрии и комбинационного рассеяния
Author(s) -
В. Н. Кручинин,
В. А. Володин,
Т. В. Перевалов,
A. K. Gerasimova,
В. Ш. Алиев,
В.А. Гриценко
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/os.2018.06.46080.39-18
Subject(s) - materials science