Open AccessСтруктурная анизотропия пленок аморфного кремния, модифицированных фемтосекундными лазерными импульсами-=SUP=-*-=/SUP=-
Author(s) -
Д.В. Шулейко,
Ф.В. Кашаев,
Ф.В. Потемкин,
С.В. Заботнов,
А.В. Зотеев,
Д.Е. Преснов,
И.Н. Пархоменко,
И.А. Романов
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/os.2018.06.46079.38-18
Subject(s) - physics