Open AccessМетодика исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием геоморфометрических подходов
Author(s) -
A. A. Dedkova,
И.В. Флоринский,
Н.А. Дюжев
Publication year - 2022
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2022.08.52771.101-22
Subject(s) - wafer , membrane , microelectronics , materials science , layer (electronics) , deposition (geology) , nanotechnology , chemistry , geology , structural basin , paleontology , biochemistry