Open AccessПрименение нанопорошков окиси церия для полировки кремния
Author(s) -
Н.И. Чхало,
А.А. Ахсахалян,
Ю.А. Вайнер,
М.В. Зорина,
А.Е. Пестов,
М.В. Свечников,
М.Н. Торопов,
N. Kumar,
Ю.М. Токунов
Publication year - 2021
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2021.10.51375.95-21
Subject(s) - materials science
Описаны методы исследований и первые результаты, полученные при изучении шероховатости подложек из монокристаллического кремния (111), обработанных на финальной стадии различными способами: традиционная полировка без использования химико-механической полировки (ХМП), с использованием ХМП и без ХМП, но с применением нанопорошков окиси церия. Продемонстрирована эффективность использования нанопорошков CeO 2 . Были получены следующие значения эффективной шероховатости: без ХМП --- 3.56 nm, с ХМП --- 0.54 nm и без ХМП, но с полировкой CeO 2 --- 0.93 nm. Ключевые слова: поверхность, шероховатость, рентгеновская оптика, глубокая шлифовка-полировка.