Open AccessТрибологические исследования слоев alpha-beta-Ga-=SUB=-2-=/SUB=-O-=SUB=-3-=/SUB=- в паре с сапфировым контртелом
Author(s) -
P. N. Butenko,
L. I. Guzilova,
А.В. Чикиряка,
A. I. Pechnikov,
В. И. Николаев
Publication year - 2021
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2021.09.51214.62-21
Subject(s) - beta (programming language) , alpha (finance) , radiochemistry , materials science , chemistry , computer science , mathematics , construct validity , statistics , programming language , psychometrics
Рассмотрена износостойкость эпитаксиальных слоев alpha- и beta-полиморфов оксида галлия, выращенных на сапфировых подложках. Это одно из первых исследований трибологических свойств перспективного широкозонного полупроводникового кристалла. В результате проведенных триботестов с участием сапфирового контртела в процессе сухого трения на воздухе показано, что слои метастабильного alpha-Ga 2 O 3 более стойки к истиранию, чем слои термостабильной beta-фазы. При этом полученные величины коэффициентов износа позволяют отнести оба полиморфа к износостойким материалам, и особенно alpha-Ga 2 O 3 со структурой корунда. Кроме того, alpha- и beta-Ga 2 O 3 демонстрируют крайне низкие значения коэффициентов трения, ниже, чем таковые у сапфира. Ключевые слова: оксид галлия, эпитаксиальный слой, трибология, износостойкость, коэффициент трения.