Особенности взаимодействия молекул германа с поверхностью германия в вакууме и в присутствие потока водорода

В диапазоне ростовых температур (300-700) o С проведен анализ температурного поведения основных кинетических параметров, ответственных за скорости протекания на поверхности растущего слоя германия процессов пиролиза адсорбируемых молекул германа. Проведена оценка степени покрытия поверхности германия водородом и радикалами молекул германа. Установлена взаимосвязь характерной частоты пиролиза молекул гидридов со скоростью захвата молекул поверхностью и скоростью встраивания атомов Ge в растущий слой. Температурная зависимость скорости распада фрагментов молекул на поверхности германия обнаруживает немонотонное поведение, характер которого различен в разных температурных режимах и зависит от того, на каком этапе процесса сорбции происходит захват поверхностью водорода с адсорбируемой молекулы гидрида. Характеристики пиролиза германа сопоставляются с аналогичными характеристиками для пиролиза молекул силана. Обнаружено, что повышение концентрации рабочих газов в камере роста заметным образом сказывается на каталитических свойствах ростовой поверхности. Ключевые слова: химическая эпитаксия, гидриды германия, поверхностный пиролиз, молекулярный и поверхностный водород, кинетические коэффициенты.