Open AccessОпределение толщин в карбидкремниевых структурах методом частотного анализа спектра отражения
Author(s) -
М.Ф. Панов,
М.В. Павлова
Publication year - 2021
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2021.05.50696.276-20
Subject(s) - computer science
Разработана методика определения толщин после получения одно- и многослойных карбидкремниевых структур методом частотного анализа спектра инфракрасного отражения, на форму которого влияет спектральная интерференция в слоях и группах слоев. Анализ спектра выполнен в программном пакете LabView. Представлены результаты, полученные как для модельных структур, расчетный спектр отражения которых определялся с использованием диэлектрической функции, учитывавшей реакцию колебаний решетки и свободных носителей заряда, так и для экспериментальных спектров реальных многослойных структур приборов силовой электроники. Ключевые слова: слой, отражение, интерференция, спектр.