Open AccessСтруктурные свойства и состав графитоподобных углеродных пленок, полученных импульсным лазерным испарением
Author(s) -
И.В. Ершов,
Н.В. Пруцакова,
О.М. Холодова,
А.А. Лаврентьев,
И.В. Мардасова,
Т.П. Жданова
Publication year - 2021
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2021.04.50627.257-20
Subject(s) - materials science
Исследованы структура и состав графитоподобных углеродных пленок, полученных методом импульсного лазерного осаждения в атмосфере инертного газа с использованием сублимируемых углеродных лент. Полученные пленки были изучены с помощью рентгеновской дифракции, фотоэлектронной спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Рентгеноструктурный анализ показал, что полученные пленки имеют структуру, характерную для турбостратного углерода и восстановленного оксида графена. Анализ фотоэлектронных спектров позволил сделать вывод о значительном уменьшении содержания кислорода и водорода в полученных пленках по сравнению с материалом мишени, а также о значительном снижении содержания sp 3 -фазы. С использованием спектроскопии комбинационного рассеяния было показано, что углеродные пленки имеют характерные признаки нанокристаллического графита/графена и двумерную (турбостратную) структуру с характерными размерами sp 2 -кристаллитов порядка 15-18 nm в зависимости от плотности энергии лазерного импульса. Ключевые слова: нанокристаллический графит, турбостратная структура, спектроскопия комбинационное рассеяние света, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопии, импульсное лазерное осаждение.