Получение гладких высокоточных поверхностей методом механического притира

Подробно описана методика получения высокоточных гладких сферических подложек с использованием механического притира и применяемая для этих целей метрология. Приведена модифицированная схема двухзондового интерферометра с дифракционной волной сравнения, обеспечивающая выравнивание интенсивности в плечах интерферометра и перестройку рабочей апертуры без перенастройки прибора. Представлены экспериментальные результаты, полученные при доводке с использованием этой методики вогнутой сферической подложки из плавленого кварца с числовой апертурой NA = 0.30, изготовленной традиционным методом глубокой шлифовки--полировки. Исходные характеристики подложки: точность формы по параметру СКО = 36 nm (~λ/20), эффективной шероховатостью в диапазоне пространственных частот 0.025-65 μm -1 sigma eff =1.1 nm. После доводки подложки параметры поверхности улучшились до значений: СКО = 3.3 nm (~λ/200) и sigma eff =0.26 nm. Исследовано влияние размера зерна в суспензии на шероховатость и форму подложки. Ключевые слова: притир, шлифовка--полировка, шероховатость, сферическая подложка.