Open AccessИонно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
Author(s) -
И.Г. Забродин,
М.В. Зорина,
И.А. Каськов,
И.В. Малышев,
М.С. Михайленко,
А.Е. Пестов,
Н.Н. Салащенко,
А.К. Чернышев,
Н.И. Чхало
Publication year - 2020
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2020.11.49985.112-20
Subject(s) - materials science , chemistry
Описаны методики прецизионной обработки поверхности оптических элементов пучками ускоренных ионов. Приведены характеристики и возможности оборудования, а также решаемые с помощью него задачи. Подробно описаны возможности финишной коррекции локальных ошибок формы малоразмерным ионным пучком, осесимметричной коррекции/асферизации широкоапертурным сильноточным ионным пучком и ионной полировки. Представлены значения эффективной шероховатости поверхности плавленого кварца, ситалла, Zerodur'а, ULE в диапазоне пространственных частот q[2.5·10 -2 -6.0·10 1 μm -1 ], а также примеры формирования сферической поверхности и профиля асферизации. Ключевые слова: ионно-пучковая методика, пучок ускорения, кварц, ситалл.