Open AccessМногослойные зеркала Cr/Sc с улучшенным отражением для диапазона "окна прозрачности воды"
Author(s) -
В.Н. Полковников,
С.А. Гарахин,
Д.C. Квашенников,
И.В. Малышев,
Н.Н. Салащенко,
М.В. Свечников,
Р.М. Смертин,
Н.И. Чхало
Publication year - 2020
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2020.11.49980.143-20
Subject(s) - business , materials science
Изучены свойства многослойных зеркал Cr/Sc, синтезированных при пониженном значении электрической мощности на магнетронном разряде. Найдены модельные структурные параметры таких зеркал. Получен рекордный коэффициент отражения 21% на длине волны 3.12 nm. Ключевые слова: микроскопия, "водное окно", многослойные зеркала, рентгеновское излучение, магнетронное напыление.