Open AccessВлияние низкоэнергетической ионно-плазменной обработки на остаточные напряжения в тонких пленках хрома
Author(s) -
А.С. Бабушкин,
И.В. Уваров,
И.И. Амиров
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2018.12.46786.37-18
Subject(s) - political science