Open AccessВлияние температуры отжига на микроструктуру и морфологию пленок TiN, синтезированных методом дуального магнетронного распыления
Author(s) -
С. В. Зайцев,
V. S. Vashchilin,
Dmitry Prokhorenkov,
М.В. Лимаренко,
Е.И. Евтушенко
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2018.08.46313.2234
Subject(s) - tin , materials science , metallurgy