Open AccessСинтез пленок нанокристаллического графита в разряде с полым катодом
Author(s) -
И.А. Сорокин,
Д.В. Колодко,
Е.Г. Шустин
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2018.08.46307.2629
Subject(s) - computer science