Open AccessИсследование оптического Mo/Mo нанокристаллического покрытия, полученного напылением с одновременным ионным распылением
Author(s) -
А. В. Рогов,
Ю.В. Мартыненко,
И. В. Капустин,
S. D. Fanchenko,
Н.Е. Белова
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2018.05.45901.2243
Subject(s) - business