Open AccessАналитическая модель атомно-слоевого осаждения пленок на 3D-структурах с высоким аспектным отношением
Author(s) -
А.В. Фадеев,
А.В. Мяконьких,
К.В. Руденко
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2018.02.45416.2385
Subject(s) - medicine