Open AccessСостав и структура наноразмерных слоев Ga-=SUB=-1-x-=/SUB=-Na-=SUB=-x-=/SUB=-As, созданных в приповерхностной области GaAs имплантацией ионов Na-=SUP=-+-=/SUP=-
Author(s) -
Kh. Kh. Boltaev,
Ж.Ш. Содикжанов,
Д. А. Ташмухамедова,
Б. Е. Умирзаков
Publication year - 2017
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2017.12.45214.2233
Subject(s) - materials science , physics , crystallography , chemistry