Open AccessСоздание наноструктурированной поверхности кремния методом селективного химического травления
Author(s) -
A.Б. Сагындыков,
Ж. К. Калкозова,
Г.Ш. Яр-Мухамедова,
Х.А. Абдуллин
Publication year - 2017
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2017.11.45127.2211
Subject(s) - psychology