Open AccessПовышение точности аппроксимации профиля зоны эрозии планарных магнетронов
Author(s) -
А.В. Рогов,
И. В. Капустин
Publication year - 2017
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2017.09.44923.2162
Subject(s) - computer science