Open AccessВлияние обработки поверхности в BCl-=SUB=-3-=/SUB=- плазме на формирование омических контактов к структурам AlGaN/GaN
Author(s) -
Н.А. Андрианов,
Anton A. Kobelev,
Alexander Smirnov,
Ю.В. Барсуков,
Ю.М. Жуков
Publication year - 2017
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2017.03.44248.1793
Subject(s) - optoelectronics , materials science , engineering physics , physics