Open AccessПолевая эмиссия многоострийных кремниевых структур с защитными покрытиями
Author(s) -
Г.Г. Соминский,
Е.П. Тарадаев,
Т.А. Тумарева,
М.Е. Гиваргизов,
А.Н. Степанова
Publication year - 2016
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/jtf.2016.11.43823.1781
Subject(s) - computer science