Open AccessДиффузия фосфора и галлия из напыленного слоя фосфида галлия в кремний
Author(s) -
Н.Ф. Зикриллаев,
С.В. Ковешников,
Х.С. Турекеев,
Н. Норкулов,
С.А. Тачилин
Publication year - 2022
Publication title -
fizika tverdogo tela
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7498
pISSN - 0367-3294
DOI - 10.21883/ftt.2022.11.53316.367
Subject(s) - computer science