Open AccessНовый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO
Author(s) -
Д.В. Мастеров,
С.А. Павлов,
А.Е. Парафин
Publication year - 2017
Publication title -
fizika tverdogo tela
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7498
pISSN - 0367-3294
DOI - 10.21883/ftt.2017.11.45046.05k
Subject(s) - materials science
Представлена новая технология формирования планарных сверхпроводниковых структур на основе пленок YBCO с металлическими контактами, полностью исключающая процессы травления. Нужная топология сверхпроводящих элементов из пленки YBCO создается предложенным методом "задающей маски". Омические контакты к сверхпроводящей структуре изготавливаются методом взрывной фотолитографии. Для исследования возможностей данной технологии были проведены измерения сверхпроводящих мостиков шириной 3, 10 и 50 mum и тестовых структур для измерения контактного сопротивления. Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект 16-19-10478). В работе использовано оборудование ЦКП "Физика и технология микро- и наноструктур". DOI: 10.21883/FTT.2017.11.45046.05k