Open AccessСостав нанокомпозитов из тонких слоев олова на пористом кремнии, сформированных методом магнетронного распыления
Author(s) -
А.С. Леньшин,
В.М. Кашкаров,
Э.П. Домашевская,
П.В. Середин,
А.Н. Бельтюков,
Ф.З. Гильмутдинов
Publication year - 2017
Publication title -
fizika tverdogo tela
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7498
pISSN - 0367-3294
DOI - 10.21883/ftt.2017.04.44282.284
Subject(s) - political science
С использованием методов растровой электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проведены исследования особенностей морфологии и состава поверхности нанокомпозитов из тонких слоев олова на пористом кремнии, сформированных методом магнетронного распыления. Обнаружено, что сформированные нанокомпозиты в зависимости от толщины осажденного слоя олова различаются между собой соотношением основных фаз: диоксида олова, субоксида и металлического олова. При этом доля окисленного олова в фазовом составе композитов уменьшается от поверхности к объему образца. Установлено, что осаждение нанослоев олова не приводит к значительному изменению фазового состава подложки пористого кремния. Работа выполнена при поддержке гранта Президента РФ (MK-4865.2016.2) и Министерства образования и науки РФ в рамках государственного задания вузам в сфере научной деятельности на 2014-2016 гг. (проект N 740, задание N 3.130.2014/K). DOI: 10.21883/FTT.2017.04.44282.284