Open AccessХарактеризация тонких углеродных пленок на поверхности железа, сформированных магнетронным напылением с ионно-лучевым перемешиванием
Author(s) -
О.Р. Бакиева,
В.Л. Воробьев,
А.А. Колотов,
О.М. Немцова,
Д.В. Сурнин,
Г.М. Михеев,
Ф.З. Гильмутдинов,
В.Я. Баянкин,
Т.С. Картапова
Publication year - 2017
Publication title -
fizika tverdogo tela
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7498
pISSN - 0367-3294
DOI - 10.21883/ftt.2017.03.44176.315
Subject(s) - medicine
Методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, рентгеноструктурного анализа, спектроскопии протяженных тонких структур энергетических потерь электронов и спектроскопии комбинационного рассеяния света изучены химический состав, межатомная химическая связь и особенности атомной структуры наноразмерных углеродных пленок на поверхности железа, полученных магнетронным напылением, до и после ионно-лучевого перемешивания. В зоне ионно-лучевого перемешивания обнаружены структурные неоднородности и нестехиометрические карбиды железа. Определены параметры локальной атомной структуры сверхтонкого поверхностного слоя и переходной области "углеродная пленка-металл". Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (проект N 16-43-180765) и проекта УМНИК, дог. N 9302 ГУ2015. DOI: 10.21883/FTT.2017.03.44176.315