Open AccessРелаксация тока в Si-=SUB=-3-=/SUB=-N-=SUB=-4-=/SUB=-: эксперимент и численное моделирование
Author(s) -
Ю.Н. Новиков,
В. А. Гриценко
Publication year - 2017
Publication title -
fizika tverdogo tela
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7498
pISSN - 0367-3294
DOI - 10.21883/ftt.2017.01.43949.234
Subject(s) - materials science , physics , crystallography , chemistry
Экспериментально измерена релаксация тока в структуре металл-нитрид-оксид-полупроводник. Эксперимент сравнивается с расчетом, основанным на двухзонной модели проводимости и многофононном механизме ионизации ловушек. Из сравнения эксперимента с расчетом для величины сечения рекомбинации получена оценка сверху, которая составила 5· 10 -13 cm 2 . DOI: 10.21883/FTT.2017.01.43949.234