Изучение эволюции атомного состава тонких пленок NbN в процессе облучения смешанными ионными пучками методами спектроскопии энергетических потерь электронов | Zendy

М.М. Дементьева | Zendy; К.Е. Приходько | Zendy; Б.А. Гурович | Zendy; Л.В. Кутузов | Zendy; Д.А. Комаров | Zendy

Open Access

Изучение эволюции атомного состава тонких пленок NbN в процессе облучения смешанными ионными пучками методами спектроскопии энергетических потерь электронов

Author(s) -

М.М. Дементьева,

К.Е. Приходько,

Б.А. Гурович,

Л.В. Кутузов,

Д.А. Комаров

Publication year - 2016

Publication title -

физика твердого тела

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7498

pISSN - 0367-3294

DOI - 10.21883/ftt.2016.11.43720.5k

Subject(s) - materials science

Экспериментально методами спектроскопии энергетических потерь электронов в просвечивающем электронном микроскопе в режиме трансмиссионного сканирования на образцах поперечных срезов исследовано изменение атомного состава ультратонких пленок NbN в ходе их облучения смешанными ионными пучками до дозы 4 dpa (по азоту). Установлено протекание процесса замещения атомов азота атомами кислорода, характеризующееся изменением состава проводящей части пленки с NbN на NbNO. Работа поддержана Министерством образования и науки РФ (соглашение о предоставлении субсидии N 14.607.21.0005, уникальный индентификатор RFMEFI60714X0005).

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research