Open AccessИзучение эволюции атомного состава тонких пленок NbN в процессе облучения смешанными ионными пучками методами спектроскопии энергетических потерь электронов
Author(s) -
М.М. Дементьева,
К.Е. Приходько,
Б.А. Гурович,
Л.В. Кутузов,
Д.А. Комаров
Publication year - 2016
Publication title -
fizika tverdogo tela
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7498
pISSN - 0367-3294
DOI - 10.21883/ftt.2016.11.43720.5k
Subject(s) - materials science
Экспериментально методами спектроскопии энергетических потерь электронов в просвечивающем электронном микроскопе в режиме трансмиссионного сканирования на образцах поперечных срезов исследовано изменение атомного состава ультратонких пленок NbN в ходе их облучения смешанными ионными пучками до дозы 4 dpa (по азоту). Установлено протекание процесса замещения атомов азота атомами кислорода, характеризующееся изменением состава проводящей части пленки с NbN на NbNO. Работа поддержана Министерством образования и науки РФ (соглашение о предоставлении субсидии N 14.607.21.0005, уникальный индентификатор RFMEFI60714X0005).