Open AccessИсследование особенностей нанесения нанослоев Al-=SUB=-2-=/SUB=-O-=SUB=-3-=/SUB=- методом атомно-слоевого осаждения на структурированные пленки ITO
Author(s) -
Л.К. Марков,
А.С. Павлюченко,
И.П. Смирнова,
М.В. Меш,
Д.С. Колоколов,
А.П. Пушкарев
Publication year - 2022
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2022.08.53153.9856
Subject(s) - materials science , anti reflective coating , substrate (aquarium) , surface roughness , transmission electron microscopy , oxide , scanning electron microscope , layer (electronics) , refractive index , surface finish , thin film , deposition (geology) , optoelectronics , nanotechnology , optics , composite material , metallurgy , paleontology , oceanography , sediment , biology , geology , physics