Open AccessСтруктурные и фотоэлектрические свойства тонких пленок оксида цинка на подложке танталата лития
Author(s) -
Л.В. Григорьев,
А.А. Семенов,
А.В. Михайлов
Publication year - 2021
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2021.12.51703.9724
Subject(s) - materials science
Представлены результаты исследования структурных и фотоэлектрических свойств тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO 3 . Приведены результаты рентгеноструктурного анализа и данных атомно-силовой микроскопии для пленок оксида цинка, синтезированных на подложке из монокристаллического танталата лития и на подложке из полированного кварца КУ-1. Приведена спектральная зависимость фотоэлектрического тока тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO 3 и структуры ZnO-кварц в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Представлены результаты восстановления методом регуляризации Тихонова-Лаврентьева энергетического спектра оптически активных дефектов, присутствующих в структуре ZnО-LiTaO 3 . Ключевые слова: тонкие пленки, оксид цинка, лазерная абляция, сегнетоэлектрические материалы, фотопроводимость, рентгеноструктурный анализ, атомно-силовая микроскопия, регуляризация Тихонова--Лаврентьева.