Влияние морфологии поверхности микрополосковой линии СВЧ на ее передаточные характеристики

Определены основные морфологические параметры 50-омных Au/i-GaAs\100\ тонкопленочных микрополосковых золотых СВЧ копланарных линий передач длиной l W , влияющие на активное сопротивление их скин-слоя R и индуктивность L. Получено, что латеральный характер распределения зерен и развитый рельеф их поверхностей приводит к возникновению дополнительных процессов рассеяния электронов как на границах зерен, так и на неоднородностях рельефа. Малый размер зерен, d x <133 нм, на частотах f>10 ГГц переводит аномальный скин-эффект в нормальный. При этом нелинейная зависимость R от l W в локальном приближении обеспечивается фрактальной геометрией рельефа поверхности и приповерхностной области копланарных линий передач, а нелинейная зависимость индуктивности L от l W --- не только фрактальными особенностями рельефа двухмерной поверхности копланарных линий передач, но и фрактальными особенностями трехмерного распределения ее зерен. Ключевые слова: СВЧ линии, скин-эффект, морфология поверхности, фракталы, размерность Хаусдорфа--Безиковича, S-параметры рассеяния, компактная модель, экстракция параметров.