Open AccessПерераспределение атомов отдачи эрбия и кислорода и структура тонких приповерхностных слоев кремния, созданных высокодозной имплантацией аргона через поверхностные пленки Er и SiO-=SUB=-2-=/SUB=-
Author(s) -
К.В. Феклистов,
А.Г. Черков,
В.П. Попов,
Л.И. Федина
Publication year - 2018
Publication title -
žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-748X
pISSN - 0044-4642
DOI - 10.21883/ftp.2018.13.46872.8601
Subject(s) - materials science