Open AccessПрименение спектроскопии фотолюминесценции для исследования поперечного скола многослойных гетероструктур
Author(s) -
С.М. Планкина,
О.В. Вихрова,
Б.Н. Звонков,
А.В. Нежданов,
И.Ю. Пашенькин
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.11.45101.15
Subject(s) - materials science
Показана возможность комплексного применения фотолюминесценции и спектроскопии комбинационного рассеяния в режиме латерального сканирования поперечных сколов гетероструктур для контроля распределения напряжений, определения толщины эпитаксиальных слоев и состава твердых растворов. Указанным способом исследованы свойства лазерной гетероструктуры с квантовыми ямами InGaAs/GaAsP. Продемонстрирована возможность дифференцированно регистрировать фотолюминесцентное излучение от различных слоев структуры. Установлено, что определение состава твердого раствора In x Ga 1-x P по частотному положению InP-подобной моды и по энергии фотолюминесценции дает близкие значения. DOI: 10.21883/FTP.2017.11.45101.15