Open AccessТермоэлектрические эффекты в наноразмерных слоях силицида марганца
Author(s) -
И.В. Ерофеева,
М.В. Дорохин,
В.П. Лесников,
Ю.М. Кузнецов,
А.В. Здоровейщев,
Е.А. Питиримова
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.11.45090.04
Subject(s) - materials science , crystallography , chemistry
Экспериментально получены значения величин термоэдс, слоевого сопротивления и коэффициента теплопроводности наноразмерного слоя Mn x Si 1-x и сверхрешетки Mn x Si 1-x /Si на кремнии в зависимости от температуры в диапазоне T=300-600 K. Обсуждается роль наноразмерной пленки и подложки в формировании термоэлектрического эффекта. Оценена величина термоэлектрической добротности одиночного слоя силицида марганца, сверхрешетки и системы слой/подложка. Наибольшее значение добротности ZT=0.59±0.06 получено для Mn 0.2 Si 0.8 при T=600 K. DOI: 10.21883/FTP.2017.11.45090.04