Open AccessВзаимодиффузия и фазообразование в тонкопленочной системе Fe-TiO-=SUB=-2-=/SUB=-
Author(s) -
Н.Н. Афонин,
В.А. Логачева
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.10.45012.8531
Subject(s) - file transfer protocol , materials science , nuclear chemistry , chemistry , computer science , world wide web , the internet
Методами рентгенофазового анализа, вторично-ионной масс-спектрометрии, атомно-силовой микроскопии и математического моделирования исследовано взаимодействие магнетронным способом распыленного металлического железа с пленками оксида титана в процессе изотермического вакуумного отжига. Предложен механизм формирования сложных оксидов на границах зерен, основанный на реакционной диффузии металла Fe в оксид титана. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных поликристаллических пленочных системах металл-оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Численным анализом экспериментальных концентрационных распределений металлов в пленочной системе Fe-TiO 2 определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии: железа 8.0·10 -13 см 2 /с и титана 3.0·10 -15 см 2 /с в условиях вакуумного отжига при 1073 K. DOI: 10.21883/FTP.2017.10.45012.8531