Влияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода | Zendy

Н.А. Соболев | Zendy; А.Е. Калядин | Zendy; Е.И. Шек | Zendy; К.Ф. Штельмах | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

Влияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода

Author(s) -

Н.А. Соболев,

А.Е. Калядин,

Е.И. Шек,

К.Ф. Штельмах

Publication year - 2017

Publication title -

физика и техника полупроводников

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7315

pISSN - 0015-3222

DOI - 10.21883/ftp.2017.09.44880.8561

Subject(s) - file transfer protocol , computer science , operating system , the internet

Исследовано влияние температуры измерения в диапазоне 5-130 K на спектры ФЛ (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода с энергией 350 кэВ и дозой 3.7·10 14 см -2 и отожженном при 700 o C в течение 1 ч в хлорсодержащей атмосфере. Температурная зависимость интенсивности линии характеризуется участками возгорания интенсивности с энергией 23.1 мэВ и гашения интенсивности с энергиями 41.9 и 178.3 мэВ. С ростом температуры линии сдвигаются в длинноволновую сторону, а их полуширина увеличивается. DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44880.8561

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research