Open AccessВлияние температуры измерения на люминесцентные свойства (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода
Author(s) -
Н.А. Соболев,
А.Е. Калядин,
Е.И. Шек,
К.Ф. Штельмах
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.09.44880.8561
Subject(s) - file transfer protocol , computer science , operating system , the internet
Исследовано влияние температуры измерения в диапазоне 5-130 K на спектры ФЛ (113) дефектов в кремнии, имплантированном ионами кислорода с энергией 350 кэВ и дозой 3.7·10 14 см -2 и отожженном при 700 o C в течение 1 ч в хлорсодержащей атмосфере. Температурная зависимость интенсивности линии характеризуется участками возгорания интенсивности с энергией 23.1 мэВ и гашения интенсивности с энергиями 41.9 и 178.3 мэВ. С ростом температуры линии сдвигаются в длинноволновую сторону, а их полуширина увеличивается. DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44880.8561