Open AccessОстаточные напряжения в кремнии и их эволюция при температурной обработке и облучении
Author(s) -
И.Е. Матяш,
И.А. Минайлова,
Б.К. Сердега,
Л.И. Хируненко
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.09.44876.8527
Subject(s) - computer science
Исследованы распределения внутренних механических напряжений нелегированного и легированного оловом кремния и влияния на них облучения электронами с энергией 5 МэВ и температурной обработки при 450 o C. Измерения напряжений проводились методом, основанным на регистрации двулучепреломления с помощью модуляционной поляриметрии. Показано, что легированный оловом кремний имеет полосы точечных дефектов с неоднородным распределением остаточных напряжений до 20 кг/см 2 . Температурная обработка при 450 o C приводит к повышению остаточных напряжений в образце до 50 кг/см 2 . Выявлено, что радиационные дефекты, которые образовались при облучении кремния, легированного оловом, приводят к уменьшению остаточных напряжений до 2-3 кг/см 2 . DOI: 10.21883/FTP.2017.09.44876.8527