Open AccessТонкие пленки CeB-=SUB=-6-=/SUB=-, полученные методом электронно-лучевого напыления на различных подложках
Author(s) -
А.А. Кузанян,
А.С. Кузанян,
Г.Р. Бадалян,
С.И. Петросян,
В.О. Варданян,
В.Н. Гурин,
М.П. Волков,
С.Х. Пилосян
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.08.44783.52
Subject(s) - file transfer protocol , computer science , operating system , the internet
Методом электронно-лучевого напыления получены пленки гексаборида церия --- материала, перспективного для использования в термоэлектрических устройствах при гелиевых температурах. Напыление проводили с керамических мишеней на диэлектрические, полупроводниковые и металлические подложки при различных температурах. Подробно исследованы микроструктура, элементный и фазовый составы, температурные зависимости удельного сопротивления и коэффициента Зеебека. Получены пленки со структурой CaB 6 , характерной для гексаборида церия, и элементным составом, близким к стехиометрическому. При низких температурах пленки имеют удельное сопротивление несколько больше, а коэффициент Зеебека близок к значениям для монокристаллических образцов. Основной причиной различия величин удельного сопротивления является обнаруженная в пленках большая концентрация примеси кислорода. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44783.52