Тонкие пленки CeB-=SUB=-6-=/SUB=-, полученные методом электронно-лучевого напыления на различных подложках | Zendy

А.А. Кузанян | Zendy; А.С. Кузанян | Zendy; Г.Р. Бадалян | Zendy; С.И. Петросян | Zendy; В.О. Варданян | Zendy; В.Н. Гурин | Zendy; М.П. Волков | Zendy; С.Х. Пилосян | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

Тонкие пленки CeB-=SUB=-6-=/SUB=-, полученные методом электронно-лучевого напыления на различных подложках

Author(s) -

А.А. Кузанян,

А.С. Кузанян,

Г.Р. Бадалян,

С.И. Петросян,

В.О. Варданян,

В.Н. Гурин,

М.П. Волков,

С.Х. Пилосян

Publication year - 2017

Publication title -

физика и техника полупроводников

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7315

pISSN - 0015-3222

DOI - 10.21883/ftp.2017.08.44783.52

Subject(s) - file transfer protocol , computer science , operating system , the internet

Методом электронно-лучевого напыления получены пленки гексаборида церия --- материала, перспективного для использования в термоэлектрических устройствах при гелиевых температурах. Напыление проводили с керамических мишеней на диэлектрические, полупроводниковые и металлические подложки при различных температурах. Подробно исследованы микроструктура, элементный и фазовый составы, температурные зависимости удельного сопротивления и коэффициента Зеебека. Получены пленки со структурой CaB 6 , характерной для гексаборида церия, и элементным составом, близким к стехиометрическому. При низких температурах пленки имеют удельное сопротивление несколько больше, а коэффициент Зеебека близок к значениям для монокристаллических образцов. Основной причиной различия величин удельного сопротивления является обнаруженная в пленках большая концентрация примеси кислорода. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44783.52

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research