Модуляционно-поляризационная диагностика термонапряжений в интегральном преобразователе давления | Zendy

И.В. Михайленко | Zendy; А.Т. Орлов | Zendy; Б.К. Сердега | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

Модуляционно-поляризационная диагностика термонапряжений в интегральном преобразователе давления

Author(s) -

И.В. Михайленко,

А.Т. Орлов,

Б.К. Сердега

Publication year - 2017

Publication title -

физика и техника полупроводников

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7315

pISSN - 0015-3222

DOI - 10.21883/ftp.2017.04.44346.8311

Subject(s) - computer science

В полупроводниковом преобразователе давления, состоящем из сенсорного резистора, имплантированного в кремниевую мембрану, как упругий элемент механики, техникой модуляционной поляриметрии детектированы внутренние механические напряжения. Координатные распределения одноосных напряжений измерены в двух случаях --- напряжения, остаточные от локальных неоднородностей легирования кристалла, и напряжения, обусловленные разогревом от протекающего тока. Координатное распределение температуры от теплового потока, выделяемого током в резисторе, получено двойным интегрированием функции напряжения с учетом соответствующих граничных условий. DOI: 10.21883/FTP.2017.04.44346.8311

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research