Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO-=SUB=-2-=/SUB=- : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц | Zendy

Л. С. Паршина | Zendy; О. Д. Храмова | Zendy; О. А. Новодворский | Zendy; А. А. Лотин | Zendy; И. А. Петухов | Zendy; Ф. Н. Путилин | Zendy; К. Д. Щербачев | Zendy

Open Access

Влияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO-=SUB=-2-=/SUB=- : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц

Author(s) -

Л. С. Паршина,

О. Д. Храмова,

О. А. Новодворский,

А. А. Лотин,

И. А. Петухов,

Ф. Н. Путилин,

К. Д. Щербачев

Publication year - 2017

Publication title -

физика и техника полупроводников

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7315

pISSN - 0015-3222

DOI - 10.21883/ftp.2017.03.44220.8387

Subject(s) - antimony , file transfer protocol , nuclear chemistry , materials science , chemistry , metallurgy , computer science , operating system , the internet

Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO 2 : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см 2 . Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO 2 : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2·10 -3 Ом·см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см 2 , температуре подложки 300 o C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр. DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44220.8387

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research