Open AccessВлияние плотности энергии на мишени на свойства пленок SnO-=SUB=-2-=/SUB=- : Sb при использовании скоростного сепаратора частиц
Author(s) -
Л. С. Паршина,
О. Д. Храмова,
О. А. Новодворский,
А. А. Лотин,
И. А. Петухов,
Ф. Н. Путилин,
К. Д. Щербачев
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.03.44220.8387
Subject(s) - antimony , file transfer protocol , nuclear chemistry , materials science , chemistry , metallurgy , computer science , operating system , the internet
Методом импульсного лазерного осаждения со скоростной сепарацией частиц на подложках кварцевого стекла без последующего отжига получены тонкие пленки SnO 2 : Sb при различных условиях осаждения в диапазоне плотности энергии на мишени от 3.4 до 6.8 Дж/см 2 . Исследованы их оптические, структурные и электрические свойства. Установлено, что плотность энергии на мишени влияет на проводимость и пропускание пленок SnO 2 : Sb. Определены оптимальные условия получения пленок бескапельным методом импульсного лазерного осаждения. Минимум удельного сопротивления 1.2·10 -3 Ом·см наблюдался при плотности энергии на мишени 4.6 Дж/см 2 , температуре подложки 300 o C и давлении кислорода в вакуумной камере в процессе осаждения 20 мТорр. DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44220.8387