Open AccessФормирование нанокристаллов кремния в многослойных нанопериодических структурах a-SiO-=SUB=-x-=/SUB=-/диэлектрик по результатам синхротронных исследований
Author(s) -
С.Ю. Турищев,
В.А. Терехов,
Д.А. Коюда,
А.В. Ершов,
А.И. Машин,
Е.В. Паринова,
Д.Н. Нестеров,
Д.А. Грачев,
И.А. Карабанова,
Э.П. Домашевская
Publication year - 2017
Publication title -
fizika i tehnika poluprovodnikov
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7315
pISSN - 0015-3222
DOI - 10.21883/ftp.2017.03.44208.8374
Subject(s) - materials science , file transfer protocol , computer science , operating system , the internet
Изучен вопрос эффективности контролируемого формирования массивов кремниевых наночастиц на основе детальных исследований электронного строения многослойных нанопериодических структур a-SiO x /SiO 2 , a-SiO x /Al 2 O 3 и a-SiO x /ZrO 2 . С применением синхротронного метода спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения обнаружена модификация исследованных структур под влиянием высокотемпературного отжига при максимальной температуре 1100 o C, объясняемая образованием нанокристаллов кремния в слоях светоизлучающих многослойных структур. DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44208.8374