Формирование нанокристаллов кремния в многослойных нанопериодических структурах a-SiO-=SUB=-x-=/SUB=-/диэлектрик по результатам синхротронных исследований | Zendy

С.Ю. Турищев | Zendy; В.А. Терехов | Zendy; Д.А. Коюда | Zendy; А.В. Ершов | Zendy; А.И. Машин | Zendy; Е.В. Паринова | Zendy; Д.Н. Нестеров | Zendy; Д.А. Грачев | Zendy; И.А. Карабанова | Zendy; Э.П. Домашевская | Zendy

Open Access

Формирование нанокристаллов кремния в многослойных нанопериодических структурах a-SiO-=SUB=-x-=/SUB=-/диэлектрик по результатам синхротронных исследований

Author(s) -

С.Ю. Турищев,

В.А. Терехов,

Д.А. Коюда,

А.В. Ершов,

А.И. Машин,

Е.В. Паринова,

Д.Н. Нестеров,

Д.А. Грачев,

И.А. Карабанова,

Э.П. Домашевская

Publication year - 2017

Publication title -

физика и техника полупроводников

Language(s) - Russian

Resource type - Journals

eISSN - 1726-7315

pISSN - 0015-3222

DOI - 10.21883/ftp.2017.03.44208.8374

Subject(s) - materials science , file transfer protocol , computer science , operating system , the internet

Изучен вопрос эффективности контролируемого формирования массивов кремниевых наночастиц на основе детальных исследований электронного строения многослойных нанопериодических структур a-SiO x /SiO 2 , a-SiO x /Al 2 O 3 и a-SiO x /ZrO 2 . С применением синхротронного метода спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения обнаружена модификация исследованных структур под влиянием высокотемпературного отжига при максимальной температуре 1100 o C, объясняемая образованием нанокристаллов кремния в слоях светоизлучающих многослойных структур. DOI: 10.21883/FTP.2017.03.44208.8374

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research